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日本ULVAC愛發科光譜橢偏儀

簡要描述:
日本ULVAC愛發科光譜橢偏儀
“Model:UNECS" 是一種光譜橢偏儀,可快速準確地測量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的測量方法,實現了緊湊的尺寸和高速的測量。
UNECS-1500M 通過易于使用的手動 R-θ 平臺輕松定位測量點。

更新時間:2025-06-26

訪問量:191

廠商性質:經銷商

型號:UNECS-1500M

品牌ULVAC/日本愛發科產地類別進口
應用領域環保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發科光譜橢偏儀

日本ULVAC愛發科光譜橢偏儀


特征

高速測量:實現快照測量方式,高速測量每點 20ms。

可見光譜范圍:可以選擇光譜波長范圍。標準型為 530nm 至 750nm,可見光譜型為 380nm~760nm。

緊湊型傳感器單元:傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個沒有任何旋轉機構的光學元件組成。此外,無需任何定期維護。

強大的產品線:擁有強大的產品線,包括便攜式、手動/自動載物臺型、內置式和大型基板型等。

應用

  • 測量透明或半透明的薄膜厚度 (D)、反射指數 (N) 和消光系數 (K)。(氧化膜、氮化物膜、光刻膠膜、ITO 膜等)

規格


波長范圍530 至 750 納米或 380 至 760 納米
光斑尺寸Φ1mm 或 Φ0.3mm
入射角70°
薄膜厚度可重復性1σ = 0.1納米
膜厚測量范圍1nm 至 2μm
測量時間采樣時間 : 20ms 至 3000ms 分析時間 : 300ms
樣品臺固定載物臺(Φ150mm、可拆卸)
控制 PC筆記本電腦,包括分析軟件
配置測量單元(包括固定載物臺)??刂葡?。光源單元。控制 PC(筆記本電腦型)和作手冊 (CD)。


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